罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的，它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。于 1944 年首先出现于德国，是为适应在 10 ～ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵使用。

根据罗茨真空泵工作压力范围的不同，分为直排大气的低真空罗茨真空泵；中真空罗茨真空泵 ( 机械增压泵 ) 和高真空多级罗茨真空泵。国内用量最多的为中真空罗茨真空泵 ( 以下简称罗茨真空泵 ) 。

罗茨真空泵是泵内装有两个相反方向同步旋转的转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触。转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。泵腔内无需用油密封和润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，实现较高转速，同时可减少油蒸气对真空系统的污染；泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感。

罗茨真空泵的特点是：启动快，耗功少，运转维护费用低，抽速大、效率高，在100-1帕压力范围内有较大抽气速率，能迅速排除突然放出的气体，转速可高达3450~4100转/分；抽气速率为30~10000升/秒。这个压力范围恰好处于油封式机械真空泵与扩散泵之间。因此，它常被串联在扩散泵与油封式机械真空泵之间，用来提高中间压力范围的抽气量，即365bet投注体育常说的机械增压泵。

罗茨真空泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气。也就是说，在实际应用中，罗茨真空泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。很多客户使用被串联的罗茨真空泵在前级泵刚启动抽大气时设置不启动罗茨，此时启用罗茨效用不明显，没有突显罗茨真空泵的优势。故一般电控上设置罗茨真空泵在大气压下不启动，当前级泵抽气到一定限度的真空时，罗茨自动启动。罗茨真空泵作为助力泵的优势会凸显出来，抽速上给予前级泵有力的支持。

罗茨真空泵作为前级泵的助力泵，选型时应遵循罗茨抽速比前级泵抽速至少快一倍但不超过10倍的范围选择。抽速比前级泵同级或更小，罗茨泵就显得“没有力量”，没有真正派上用场；抽速比前级泵快10倍或以上，泵的负载相对增加，对泵的磨损大，没能实现罗茨节能的效果，也是不可取的。使用罗茨真空泵尽量控制罗茨泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证罗茨泵在最高效率点运转，获得最大的节能效果。